光电编码器是一个关键部件，其中的发光器件、光电变换器件都比较容易损坏，有时整形放大器件也会损坏，这就需要有意识地务一些必需器件，以便及时维修。光电编码器大多数是玻璃盘，这就要求在拆卸、装配过程中，要小心，不要让它受力，否则就会使码盘破损，无法再进行机床设备大修。
因伺服系统中有很多专用芯片，所以伺服系统中的故障查找是很困难的，只能采用示波器查出各点波形，然后进一步判断各芯片的好坏。
将待处理的模具放在真空容器中，充以一定压力的含氮气体(如氮或氮、氢混合气)，然后以被处理模具作阴极，以真空容器的罩壁作阳极，在阴阳极之间加400～600伏的直流电压，阴阳极间便产生辉光放电，容器里的气体被电离，在空间产生大量的电子与离子。在电场的作用下，正离子冲向阴极，以很高速度轰击模具表面，将模具加热。离能正离子冲入模具表面，获得电子，变成氮原子被模具表面吸收，并向内扩散形成氮化层。应用离子氮化法可提高模具的耐磨性和疲劳强度。